【教えて下さい】「 reaction oxygen species」の意味

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「 reaction oxygen species」の意味について教えてください。

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2015-10-14 14:38:48

英語勉強中さん

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A method of cleaning the CVD reaction chamber by active oxygen species is provided.
CVD反応チャンバを活性酸素種によってクリーニングする方法が与えられる。
http://ejje.weblio.jp/sentence/content/reaction+oxygen+species

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